FST의 APS 사업부(Advanced Product & Solution)는 2010년부터 EUV Source를 비롯한 다양한 EUV Infra tool을 개발하고 상용화하는 첨단 장비 개발, 판매 사업부입니다.

APS 사업부의 주력 제품으로는 EUV Pellicle Mount/Demount System과 EUV Source, 그리고 EUV Pellicle, Mask, Dual Pod 등 EUVL과 관련된 여러 재료를 검사할 수 있는 검사 장비 등이 있으며,이 제품들은 지속적인 R&D를 통해 발전되고 있습니다. APS 사업부는 EUV Pellicle의 수요 증가, 차세대 EUV Scanner와 2세대 EUV Pellicle 도입 등 EUV Lithography의 발전에 수반되는 변화에 대응하기 위해 고객과 지속적으로 협력하고 교류하고 있으며, EUV Lithography의 Total Solution provider가 되기 위해 많은 노력을 기울이고 있습니다.