사업분야

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펠리클사업부

펠리클이란?

제품개요

마스크(Mask) 표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로 부터 보호해 주는 박막이다 .
막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착 되어진다.

일반적으로 펠리클은 반도체노광장비, 프로젝션 얼라이너(Projection Aligner)에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에, 스텝퍼(Stepper)에서는
레티클의 크롬면과 유리면 양쪽에 부착되어 웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않도록 한다.

사용목적
  • 반도체 제품 수율의 향상
  • 포토마스크의 사용 수명 연장 포토마스크 세정 주기의 연장
  • 포토마스크의 오염으로부터 보호
  • 반복적인 포토마스크의 사용시 오염원으로 부터의 격리
  • 작용원리
  • 구조
작용원리
  • 작용원리
  • 구조
Pellicle Structure
  • Purpose : To protect Photo-mask from foreign substance.
  • Application : Pellicle adheres to the surface of Photo-mask.
  • Results : Pellicle has a beneficial effect on lifetime extension of Photo-mask.

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