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대한민국 엔지니어상 전성철 책임연구원 / 2022.06.21

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 431회 작성일 22-06-24 11:29

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과학기술정보통신부와 한국산업기술진흥협회에서 진행하는

'대한민국 엔지니어상'  2022년 6월 수상자로 

대기업 부분 전성철 ㈜에프에스티 책임연구원을 선정되었습니다. 

 

전성철 ㈜에프에스티 책임연구원은 

차세대EUV 반도체 주요장비인 EPMD 개발을 주도하여 
국내 반도체 장비 업계의 기술을 한 단계 도약시키고 
또한 해당 장비의 100% 자동화를 업계 최초로 개발하여 
우리나라 반도체 소부장 산업 경쟁력 향상에 기여한 공로를 인정받아 과학기술정보통신부 장관상과 상금을 수령하였습니다.


당사는 국내를 넘어 해외에서도 인정받는 "차세대 반도체 장비 개발"을 목표로 기술 개발을 이어나갈 것입니다. 


* EPMD(EUV Pellilce Mounter and Demounter) 
  EUV 반도체 공정에서 불량을 줄이기 위하여 회로 원판을 먼지로부터 보호하는 초박막 형태 펠리클을 자동으로 부착 및 분리하는 주요 장비

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