펠리클이란?

사업분야 펠리클 사업본부 펠리클이란?

pellicle

pellicle

제품개요

마스크(Mask)와 레티클(Reticle)표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로
부터 보호해 주는 박막이다 .
막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착
되어진다.

일반적으로 펠리클은 반도체노광장비, 프로젝션 얼라이너(Projection Aligner)
에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에, 스텝퍼(Stepper)
에서는 레티클의 크롬면과 유리면 양쪽에 부착되어 웨이퍼 이미지에 영향을
주지 않도록 한다.

사용목적

  • 반도체 제품 수율의 향상
  • 포토마스크의 오염으로부터 보호
  • 포토마스크의 사용 수명 연장 포토마스크 세정 주기의 연장
  • 반복적인 포토마스크의 사용시 오염원으로 부터의 격리