Theme-Electrical

사업분야 장비 사업본부 Thermo-Electrical Type

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  • FST Thermo-Electric Chiller
  • 상온 온도 범위 (10℃~40℃) 의 정밀 온도 제어용 Chiller 적용 공정 : Etch


  • Theme-Electrical의 장점

    • 냉매(프레온 가스)를 사용하지 않는 친환경 제품
    • Peltier 소자를 이용한 에너지 절감 System
    • Peltier 소자의 Heat/Cool 제어로 ±0.1℃ 제어(Option : 0.01℃)
    • 다중 안전장치(Interlock)에 의한 Safety 확보
    • 사용자 편의성 높인 Touch Screen 디자인
    • CE, S-Mark, Semi-S2 인증기준 설계적용