chiller 정의

사업분야 장비 사업본부 Chiller 정의

chiller

chiller

chiller의 정의

FST 칠러(Chiller)는 식각 및 Depo. 공정에서 과도한 열의 발생에 대해 Chamber 내의 Wafer나 주변온도를 일정하게 유지함으로서 공정효율을 개선하는 장비입니다.

점차 공정이 고정밀화 대구경화 되어감에 따라 보다 더 사용자화 된 장치의
공급을 목적으로 Chiller의 지속적인 발전이 요구되고 이에 따라 다양한 기초
기술 및 설계기술이 기반이 된 제품이 제작되고 있습니다.