Compressor

사업분야 장비 사업본부 Compressor Type

Compressor Chiller

Compressor Chiller

Compressor

  • FST Compressor Chiller
  • 폭넓은 온도범위 (-20℃~80℃)의 범용 냉동기 Chiller 적용 공정 : Etch, Diffusion


  • Compressor의 장점

    • 저온 대용량 냉동 System 설계 대응
    • 전자식팽창밸브 PID 조절로 ±0.1℃ 제어
    • Energy Saving 냉동 System 적용
    • 다중 안전장치(Interlock)에 의한 Safety 확보
    • 사용자 편의성 높인 Touch Screen 디자인
    • CE, S-Mark, Semi-S2 인증기준 설계적용