사업분야
차별화된 기술력과 창조적인 사고 더 큰 도약을 위한 도전은 계속됩니다.
APS 사업부
㈜에프에스티는 주력제품인 펠리클, 칠러 외에 미래 준비를 위한 요소 기술 개발에 매진하고 있습니다. 특히 레이저 응용기술, Optic-based 검사/측정 등에 연관된 기술 확보에 중점을 두고 있고,
일부 제품은 proto type의 판매로 이어졌습니다. 당사의 기술연구소는 아래의 요소 기술에 대한 연구 개발 활동을 통해 각 R&D item이 사업화가 될 수 있도록 incubating 역할을 담당하고 있습니다.
R&D Technology
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EUV 광원 제작 기술
Femto-second 레이저 운용 기술
EUV(13.5nm) 파장의 광원 제작 기술
레이저 및 EUV 광학계 운용 기술
진공 기술
EUV mask 검사 및 Microscopy에 활용
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미세선폭 측정 기술
고해상도 광학계
빠른 오토 포커스 기능
안정적인 측정 알고리즘
빠르고 정확한 스테이지 모션
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Laser Cutting / Annealing 기술
고성능 레이저 광학계
안정적인 레이저 빔 제어
웨이퍼 및 글래스 절단/어닐링
열에 의한 시료 손상 최소화
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반도체용 포토마스크 검사 기술
MASK Handling 기술
Mask / Pellicle 파티클 검사
Round 검사 기술(모션/카메라 동기화 기술)
Confocal을 이용한 Profiling 기술
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고성능 Dicing Saw 기술
정밀 스테이지 제작 기술
조작이 단순하고 편리한 UI 프로그램
패턴 등록 없이 자동 Align 가능
Kerf 자동 보정 및 절단 기술
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